Litografi (EUV)
English: Lithography (EUV)
Işıkla silikon üzerine devre desenini basma süreci; EUV (aşırı mor ötesi) 13,5 nm dalga boyuyla en küçük yapıları mümkün kılar.
// AÇIKLAMA
Desen bir maskeden fotodirençle kaplı silikon dilime yansıtılır, sonra aşındırma ve katkılama adımları gelir. EUV makineleri çok karmaşık ve pahalıdır; dünyada bu makineleri yalnızca tek bir şirket (ASML) üretir.
// DİĞER ADLARI / YAZILIŞLARI
EUVlitografi
// İLGİLİ TERİMLER
Nanometre (üretim düğümü)Çip üretim teknolojisinin adı (ör. 3 nm, 2 nm); günümüzde gerçek bir uzunluktan çok pazarlama etiketi anlamı taşır.
Yarı iletkenİletkenlik değeri iletken ile yalıtkan arasında olan ve katkılama ile denetlenebilen malzeme (silikon gibi).
GAAFETGeçidin (gate) kanalı dört yandan sardığı yeni nesil transistör yapısı; FinFET'in ardılıdır ve 2 nm sınıfında kullanılır.
